是集晶圓剝離與清洗于一體的設(shè)備。該設(shè)備可自動進(jìn)行清洗、圓片從粘膠板脫離等工序，最后將圓片存放到盒內(nèi)的全過程，并可兼容現(xiàn)有切片機(jī)的粘膠板。