ウェーハ外周成形やノッチ成形を面取りするための裝置です。 高精度デジタル制御方式で開発された裝置で、ウェーハを正確かつ効率的に処理することができ、各裝置には粗研削と精密研削の2つの研削部があります。 同時に、2つのピースが挽かれます。 メカニカルヒップピッキングピースを使用し、光センサでウェハの位置合わせを行い、加工後はスピンドライにより乾燥した狀態(tài)でスタック內にリサイクルされます。 フィードバックの厚さや面取りなどの処理データの機能を調整して、上下の面取りを一致させることができます。 ウェハに周縁加工、ＯＦエッジ、ノッチ加工を施すことが可能であり、異形加工も可能であり、Ａメサ、Ｂメサともに異なる種類のワークを同時に加工することが可能である。
