主に4'-8 "、10-12"シリコンウェーハの自動(dòng)バックグラインド、ダブルグラインディングヘッドの設(shè)計(jì)、ディスクタイプの旋回機(jī)構(gòu)、待ち?xí)r間なしのステーション切り替えに使用されます。